微型化自由运行InGaAs/InP单光子探测器（特邀）

单光子探测器具有最高的光探测灵敏度，在激光雷达系统中使用单光子探测器可以极大提升系统的综合性能。近红外二区（1.0~1.7 μm）激光具有大气透过率高、散射弱、太阳背景辐射弱等优势，是大气遥感、三维成像等激光雷达系统的理想工作波段。研制了一种基于InGaAs/InP负反馈雪崩光电二极管的微型化自由运行单光子探测器。该探测器长宽高为116 mm×107.5 mm×80 mm，在1.5 μm最大探测效率超过35%，时间抖动（半高宽）低至80 ps。为满足激光雷达系统对光子飞行时间测量的需求，探测器内部集成时间数字转换（TDC ）功能，时间精度100 ps。同时，探测器集成一套后脉冲修正及计数率修正算法，可以有效降低探测器所引起的雷达信号畸变。