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Numerical Simulation of Excimer Laser Cleaning of Film and Particle Contaminants

S. Marimuthu, A. Mhich,I. S. Molchan,D. Whitehead,Z. B. Wang,P. Mativenga,L. Li,Z. Liu,C. Grafton-Reed,S. Cheetham,S. Dilworth

Journal of Heat Transfer（2013）

引用 18|浏览6

关键词

heat transfer,laser cleaning,numerical simulation,titanium alloys,excimer laser

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