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Low Temperature Deposition of High Performance ITO Using a Co-Plasma Approach

I Dirnstorfer,Thomas Mikolajick, D Sontag,Paul M Jordan, Franz P G Fengler, Daniel K Simon

mag（2014）

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关键词
magnetron sputtering,ito
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
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