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Single-stepper Soft X-Ray Source for Step-and-scan Tools

MA Piestrup,MW Powell,S Mrowka,LW Lombardo,MB Chase,JT Cremer,XK Maruyama

EMERGING LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES（1997）

引用 1|浏览4
关键词
x-ray lithography,transition radiation,step-and-scan,electron accelerators
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