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Fabrication and Characterization of the ITO/Au/ITO Thin Film Gas Sensor by RF Magnetron Sputtering and electron Irradiation

Sungbo Heo,Hakmin Lee,Yusung Kim, Juhyun Chae,Yongzoo You,Daeil Kim

mag（2011）

引用 23|浏览4
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关键词
electron irradiation,indium tin oxide,xrd,sensitivity,au
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