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真空アニール法がAl_2O_3/GaSb MOS界面に与える影響(半導体プロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)

高寛 後藤,紗千恵 藤川, 博記 藤代,睦郎 小倉,哲二 安田,辰郎 前田

mag（2013）

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关键词
high k
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
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