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APPARATUS AND METHOD FOR SELECTED SITE BACKSIDE UNLAYERING OF SILICON, GAAS, GAXALYASZ OF SOI TECHNOLOGIES FOR SCANNING PROBE MICROSCOPY AND ATOMIC FORCE PROBING CHARACTERIZATION

Andrew Deering, Terence L Kane, Philip V Kaszuba,Leon Moszkowicz, Carmelo F Scrudato, Michael P Tenney

mag（2007）

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