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High Performance Strained Si0.5Ge0.5 Quantum-Well P-Mosfets Fabricated Using a High-Κ/metal-gate Last Process

Chang Liu,Jiao Wen,Wenjie Yu,Bo Zhang,Zhongying Xue,Yongwei Chang,Lei Zhu,Xinke Liu,Yi Zhao,Miao Zhang,Xi Wang,Qing-Tai Zhao

Superlattices and Microstructures（2015）

引用 5|浏览15

关键词

SiGe,Quantum-well,Gate-last,Hole mobility

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生成溯源树，研究论文发展脉络

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