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Modulation of PtSi work function by alloying with low work function metal(Session 7A : Gate Oxides)

Jun Gao,Jumpei Ishikawa,Shunichiro Ohmi

siam international conference on data mining（2010）

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关键词
work function,sheet resistance
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
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