The influence of high resistivity substrates on CMOS latchup robustness

Tucson, AZ, 2005, Pages 1-10E.

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EI WOS

摘要

This paper demonstrates latchup results in a 50 Omega-cm substrate wafer in a 0.13-mum technology. Latchup evaluation will evaluate and compare a 10 Omega-cm and a 50 Omega-cm substrate wafer on the NPN bipolar current gain, betanpn, PNP bipolar current gain, betapnp,, the bipolar current gain product, betapnpbetanpn, undershoot, and over...更多

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