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FIB Patterning of Dielectric, Metallized and Graphene Membranes: A Comparative Study

A. Hemamouche,A. Morin,E. Bourhis,B. Toury,E. Tarnaud,J. Mathe,P. Guegan,A. Madouri,X. Lafosse,C. Ulysse, S. Gullet,G. Patriarche,L. Auvray,F. Montel,Q. Wilmart,B. Placais,J. Yates,J. Gierak

Microelectronic engineering（2014）

引用 27|浏览68
关键词
FIB,Ultra-thin membranes,Dielectric films,Graphene,Nanopores,Boron nitride
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