KBAX射线显微镜分辨力模型

综合考虑了几何像差、衍射效应和加工精度等因素对KBAX射线显微镜分辨力的影响,构建了分辨力模型.通过光线追迹模拟得到了不同视场位置的边缘响应函数,以20％～80％的评价标准确定了几何像差分辨力.由构建的空间分辨力模型得到理论分辨力.KBA X射线显微镜整个视场几何像差分辨力、理论分辨力和实测分辨力基本一致.用单层膜KBA显微镜获得的X射线成像结果,得出中心视场的分辨力约为4μm,±100 μm视场的分辨力优于5μm.实验结果表明,几何像差对空间分辨力影响权重相对较大,是影响空间分辨力的决定性因素,其它因素的影响相对较小.