一种光学仪器镜面面形的处理方法
Guangxue Jishu/Optical Technique（2009）
摘要
光学镜面表面变形包含刚体位移和表面畸变,其中表面畸变是影响成像质量的主要因素,因此需去除刚体位移,分析表面畸变.通过坐标变换生成一个新的理论镜面,用该镜面拟合变形镜面,用拟合镜面与变形镜面轴向差值计算出表面畸变的RMS值及PV值.实例计算表明该算法拟合精度较高,适用于抛物面、球面镜在支撑和装夹下的镜面面形精度分析.
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关键词
Applied optics,Fitting,Least square method,Surface abenation,Surface figure error
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