衬底温度对超声喷雾法制备大面积绒面SnO2:F薄膜特性影响的研究
Guangdianzi Jiguang/Journal of Optoelectronics Laser（2009）
摘要
详细研究了衬底温度对超声喷雾热分解工艺制备的大面积绒面SnO2:F薄膜的影响和薄膜微结构与薄膜电学、光学性能之间的关系.试验曲线和SEM图的研究结果表明,将衬底温度从370℃提高到470℃以上薄膜结晶程度大大提高,品粒尺寸明显增大;温度在470℃左右绒度达到13%.文章同时对超声喷雾热分解工艺制备大面积绒面SnO2:F薄膜做了工艺探索.并将实验制得的薄膜用于制备非品硅薄膜电池,其效率达到了6.46%.
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关键词
SnO2:F film,Solar cells,Textured,Ultrasonic spray-pyrolysis (USP)
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