高抗激光损伤阈值介孔SiO2减反射膜

Yu-jie YANG,Lei ZHANG,Yao XU,Dong WU,Yu-han SUN,Song-nan ZHAO,Hai-jun WANG,Hai-bing L(U),Xiao-dong JIANG

Qiangjiguang Yu Lizishu/High Power Laser and Particle Beams（2008）

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摘要

用P123作模板剂,通过正硅酸乙酯的水解缩聚和溶剂蒸发自组装过程在K9玻璃上制备介孔SiO2膜.应用FT-IR,XRD,N2 吸附-脱附,AFM和UV-Vis表征手段研究了薄膜的介孔结构和光学性能,并使用"R-on-1" 模式,以Nd:YAG脉冲激光(9.2 ns, 1 064 nm)测试了薄膜的激光损伤阈值.结果表明:所镀制单层介孔SiO2膜具有规整的2D p6 mm长周期结构,为SBA-15型,膜层表面比较平整(均方根粗糙度为2.923 nm),在1 064 nm处的透过率为99.5%, 换算为激光脉宽为1 ns时,膜层的激光损伤阈值为21.6 J/cm2,显示出了较好的减反性能和抗激光损伤性能.

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关键词

Laser-induced damage threshold,SBA-15,Mesoporous SiO2 film,Evaporation induced self-assembly,Anti-reflective performance

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