用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnO/Al背反射电极

Jun-ming XUE,Jian SUN,Hui-zhi REN,Yun-zhou LIU,Ling-wei DUAN,Zhen-hua ZHOU,De-kun ZHANG,Ying ZHAO,Xin-hua GENG

Journal of Synthetic Crystals（2007）

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摘要

本文首先在低温(140℃)和低功率下采用Zn:Al合金靶直流反应磁控溅射法研制ZnO:A1透明导电膜.然后在单结(glass/SnO2/pin/)或双结(glass/SnO2/pin/pin/)非晶硅电池上沉积约70～lOOnm厚的ZnO透明导电膜,最后再用电阻蒸发法沉积Al电极.实验获得了较好的n+/ZnO界面,实现了ZnO/Al背电极的增反作用,使电池的短路电流增加1～3mA/cm2,光电转化效率提高1～3%(绝对效率),小面积电池效率达到9.5%.

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关键词

Amorphous silicon solar cells,Back reflectance,Conversion efficiency,Short currency,ZnO/Al rear electrode

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