一种无阀压电微泵的研究

Hai-ning WANG,Da-fu CUI,Zhao-xin GENG,Chang-chun LIU,Xing CHEN

Yadian Yu Shengguang/Piezoelectrics and Acoustooptics（2006）

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摘要

介绍了一种适用于微流体系统的无阀微泵.该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,利用硅各向异性腐蚀形成扩散口/喷口结构,并利用压电双晶片作为驱动部件.该微泵的制作工艺简单,使用寿命长,具有良好的液体驱动性能.对于使用15 mm长的压电双晶片作为驱动器的压电无阀微泵,在100 V、60 Hz、占空比为1的方波驱动下,最大流速可达151 μL/min.

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关键词

Micropump,PDMS,Piezoelectric bimorph,Valveless

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