等离子体-热丝CVD技术制备多晶硅薄膜
Pan Tao Ti Hsueh Pao/Chinese Journal of Semiconductors（2003）
摘要
采用热丝化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积相结合的技术制备了多晶硅薄膜,通过Raman散射、XRD、吸收谱等手段研究了薄膜结构和光学性质.结果表明,与单纯的热丝和等离子体技术相比,等离子体-热丝CVD技术在一定条件下有助于薄膜的晶化和提高薄膜均匀性.Auger谱研究表明等离子体的引入大大降低了硅化物在高温热丝表面的形成.
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关键词
Optical properties,Plasma enhanced-hot wire chemical vapor deposition (PE-HWCVD),Polycrystalline silicon,Thin film structure
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