复合绒面透明导电薄膜研究
Taiyangneng Xuebao/Acta Energiae Solaris Sinica（2003）
摘要
在常规非晶硅电池绒面SnO2衬底上,采用Zn:Al重量比为5%的金属靶直流反应磁控溅射沉积ZnO,构成复合绒面SnO2/ZnO透明导电膜.控制适当ZnO厚度,既能保持SnO2绒面效果,又可阻挡H离子对SnO2的还原作用,可作为微晶硅电池的前电极.文中对ZnO沉积条件以及复合膜的形貌、电光性能进行了讨论.
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关键词
Reactive DC magnetron sputtering,ZnO/SnO2 multiple textured film.,ZnO2
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