用于Raman光谱与微纳米结构同步检测的Raman-AFM系统研究

Bin Shi,Hai-jun Zhang,Lan Wu,Dong-xian Zhang

SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS（2012）

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摘要

研究和发展了一种将微区拉曼(Raman)光谱检测与原子力显微镜(AFM)微纳米扫描成像相结合的新型Raman-AFM技术.设计了Raman光谱与AFM扫描成像的原位检测探头；研制出相应的Raman-AFM系统；利用该系统,对ZnO纳米颗粒和TiO2纳米薄膜开展了微区Raman光谱与微纳米结构的检测实验.研究表明,所获得的Raman光谱检测结果与理论值良好吻合,同时,AFM扫描检测得到的图像很好地表征了样品的微纳米结构,从而实现了微区Raman光谱与AFM图像的原位及同步检测,验证了这一技术的可行性,为Raman光谱技术与微纳米技术领域的实际应用提供了技术基础.

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关键词

Raman spectroscopy,AFM,Micro region,In-situ,Micro/nano-structure

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