Nb/AlOx-Al/Nb超导隧道结制备氧化工艺与特性研究
Cryogenics & Superconductivity（2012）
摘要
提出一种氧的等离子氧化的方法改善结区边缘绝缘性能,降低超导隧道结的漏电流。对Al膜进行等离子氧化能够有效的改善氧化膜的绝缘性能,AES分析表明:氧化绝缘层均匀,界面清晰;应用此方法成功制备出较好性能的Nb隧道结。
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关键词
Fabrication process,Superconductivity tunnel junction,Plasma oxidation,Anodization
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