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Self Aligned Field-Plate PHEMT for 5.8 GHz Operation

K. Moore, M. C De Baca,O. Hartin, H. Stewart, S. Shaw,C. Gaw, T. Arnold,M. Miller,C. E. Weitzel, J. Cotronakis

msra（2009）

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关键词
deposit spacer dielectric,acpr field-plate metal,field-plate,rf power,gaas phemt
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