Cu/15°YX-LiNbO3 SAW谐振器的横向模抑制研究

XIAO Qiang,DONG Jiahe,BAI Tao,CHEN Yanguang,CHEN Shangquan,LI Hualin,CHEN Zhenglin,MA Jinyi

Piezoelectrics & Acoustooptics（2022）

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摘要

Cu/15°YX-LiNbO3声表面波(SAW)谐振器作为宽带SAW滤波器的核心单元,其横向模式的存在极大地影响了SAW滤波器的通带性能,将引起带内波纹,增大器件插损,从而降低系统信噪比,引起信号误读.该文基于Piston技术抑制Cu/15°YX-LiNbO3 SAW谐振器的横向模式,利用有限元仿真优化了指条末端尺寸.仿真结果表明,慢速区域尺寸占空比为0.692,长度约为0.65λ(λ为波长)时,主模附近的横向模得到完全抑制,并通过实验验证了其有效性.这为Piston技术应用于Cu/15°YX-LiNbO3宽带SAW滤波器的横向模抑制提供了指导.

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