工艺公差对阵列波导光栅波分复用器性能的影响
Chinese Journal of Semiconductors（2006）
摘要
依据阵列波导光栅(AWG)的传输理论,分析了工艺公差对硅基聚合物AWG波分复用器性能的影响.分析结果表明,工艺公差将引起AWG传输光谱的漂移,并使串扰增大.为了实现AWG器件正常的解复用功能,我们对AWG工艺公差的累积和补偿效应进行了讨论.
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关键词
multiplexer,arrayed waveguide grating,crosstalk,manufacturing tolerance,transmission spectrum
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