氦光泵磁敏传感器抽真空及精确充气系统的研究

氦磁敏传感器是氦光泵磁力仪的核心部件。其中氦光源的制作工艺直接影响整机的性能。为此建立一套抽真空及精确充气的设备。其中,抽真空部分主要由机械泵、涡轮分子泵和离子泵组成。通过高精度微漏阀和薄膜压力计实现精确充气。所制氦光源可利用高压发生器及高频振荡器来激励,并测试了其光谱。利用该设备成功研制出高性能的氦光源。该设备的成功研制为其他磁力仪的相关核心部件的研制提供了经验。