非低温法的稀有气体纯化技术概述

稀有气体广泛应用于工业生产中,如离子刻蚀、检漏等。但是它们在地球上的含量比较少,属于稀有资源,因此需要对它们进行纯化以循环再利用。首先介绍了不同气体纯化的原理,然后以实际生产中的不同稀有气体使用范围为例,说明纯化装置的设计方法和需要考虑的问题。为以后气体纯化装置的设计提供借鉴。