基于转镜扫描的狭缝尺寸测量系统研究

Sensor World(2012)

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摘要
在现代工业检测中,很多地方会对狭缝尺寸进行测量.为了高速高精度的测量狭缝的尺寸,介绍了一种能在线实时测量狭缝尺寸的系统.系统通过转镜旋转扫描整个狭缝,而后对通过狭缝的光线进行反射成像并进行处理,在不移动相机的情况下扩大了相机的测量区域.系统以机器视觉技术为基础,利用线阵CCD摄像机拍摄图片,通过数字图像处理技术进行数据处理.系统克服大部分测量设备难以实现在线测量、精度低、成本高等缺点.
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关键词
tilting mirror scanning,image processing.,size measurement,slit
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