利用真空变温电阻测试仪研究VO_2薄膜的电阻特性
Physics Experimentation（2012）
摘要
利用磁控溅射技术在普通玻璃基片上制备了VO2薄膜,晶体结构和表面形貌分析表明制备的样品主要具有VO2相,结晶情况良好.利用自制真空变温薄膜电阻测试仪器测试了VO2薄膜的电阻率随温度变化曲线,观察到钒氧化物的电阻突变和热滞现象.
更多查看译文
关键词
resistivity,VO2 thin film,temperature,magnetron sputtering
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要