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ChemInform Abstract: Low Temperature Deposition of AlN Films by an Alternate Supply of Trimethyl Aluminum and Ammonia.

D. RIIHELAE,M. RITALA,R. MATERO,M. LESKELAE, J. JOKINEN,P. HAUSSALO

Cheminform（2010）

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关键词
aln films,trimethyl aluminum,low temperature deposition,cheminform abstract
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