纳米硅薄膜冷阴极研究进展

纳米硅薄膜冷阴极是一种由大量表面覆盖有超薄氧化层的纳米硅晶构成的平面场发射阴极,具有结构简单、工作电压低、对环境气压不敏感和电子发射方向性好等优点,在真空纳电子器件和电子束器件领域具有潜在的应用前景。本文介绍了纳米硅薄膜冷阴极的结构、场电子发射机理、制作工艺、研究动态和发展趋势。