聚酰亚胺基柔性神经微电极的优化

ZHU Zhuanghui,ZHOU Liang,ZHOU Hongbo,LI Gang,SUN Xiaona,SHEN Nian,ZHU Lin,ZHAO Jianlong

Journal of Xi'an Jiaotong University（2010）

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摘要

对一种聚酰亚胺基柔性神经微电极进行了结构及制作工艺等方面的优化.针对动物视网膜的刺激,设计制作了具有固定通孔结构的柔性神经微电极.在制作工艺方面,使用空气等离子体表面处理以增强金属层的黏附性,降低了微电极的界面阻抗,增强了微电极稳定性,使之适于长期植入.优化后微电极的电极金属层牢固且具有较低的界面阻抗(43kΩ),比处理前降低了25.4%,误差减小了约4/5,具有良好的实用性.

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关键词

air-plasma,adhesion,flexible microelectrode,polyimide

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