Fabry-Pérot干涉近红外光谱仪

Modern Instruments（2011）

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摘要

文章主要从分光原理、加工技术和仪器性能3个方面介绍Axsun公司的Fabry-Pérot干涉近红外光谱仪

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关键词

MEMS,Processing technology Instrument performance,Wavelength selective principle,NIR spectrometer

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