云母表面不同厚度VO2薄膜的红外光学特性

以天然白云母的解理面为基底,采用无机溶胶-凝胶法在其表面制备不同厚度的VO2薄膜,并研究了厚度对VO2薄膜的微观结构和红外光学特性的影响.利用SEM、XRD等手段分析了薄膜的表面形貌和晶体结构,利用原位FTlR分析了VO2薄膜半导体-金属相变特性.结果表明,云母表面VO2薄膜室温下具有(011)择优生长取向,随着厚度增加,薄膜晶粒变大,表面致密.同时薄膜厚度直接影响到VO2薄膜相变前后的红外透过率和薄膜在半导体-金属相变过程中产生的透过率变化△Tr,当厚度为120 nm时,薄膜具有最大的红外透过率变化为70.5%.随着薄膜厚度的增加,VO2薄膜晶粒增大导致热致相变过程中滞回温宽变小,相变过程更加陡然.