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2.45GHz ECR离子源的微波阻抗匹配

钱程,陈志,马鸿义,武启,张文慧, 王云,杨尧,方兴,孙良亭,张雪珍,张子民,刘占稳,赵红卫

cnki（2013）

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关键词

Plasma Physics

AI 理解论文

溯源树

样例

生成溯源树，研究论文发展脉络

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