A Robust Spacer Gate Process for Deca-Nanometer High-Frequency MOSFETs
Microelectronic Engineering（2005）
关键词
nanoelectronics,MOSFET,device processing,lithography,spacer technology,high frequency
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要
Microelectronic Engineering（2005）