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Ion Implantation-Induced Damage in 4H-Sic Detected by Photo-Modulated Reflectance
Z. Zolnai,J. Szívós,Ö. Sepsi,F. Újhelyi,Z. Bozóki, B. Dénes, D. Ullrich, R. Flender, D. Miron,B. M. Kovács, Z. F. Deli, K. Kovács,G. Nádudvari, L. Balogh
2023 21st International Workshop on Junction Technology (IWJT)pp.1-3, (2023)
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