Mingcheng Zong(宗明成)研究员Institute of Microelectronics of The Chinese Academy of Sciences关注立即认领分享关注立即认领分享基本信息浏览量:35职业迁徙个人简介研究方向:先进光刻技术、光学工程、精密检测技术研究兴趣论文共 16 篇作者统计合作学者相似作者按年份排序按引用量排序主题筛选期刊级别筛选合作者筛选合作机构筛选时间引用量主题期刊级别合作者合作机构Gain Coefficient Process Dependency of Focusing and Leveling SensorSun Shengsheng,Wang Dan,Zong MingchengActa Optica Sinica(2022)引用0浏览0引用00光刻调焦调平测量技术的研究进展齐月静, 裴雨多,宗明成,李璟,陈进新激光与光电子学进展(2022)引用0浏览0引用00光刻调焦调平测量系统算法比较研究宗明成, 武志鹏,范伟,段晨,李世光计算机与数字工程(2021)引用0浏览0引用00纳米光刻调焦调平传感器光电探测系统设计 龚士彬,谢冬冬, 武志鹏,宗明成仪表技术与传感器(2020)引用0浏览0引用00浸没式光刻机对焦控制技术研究段晨,宗明成,Fan Wei,Meng Lulu光学学报(2018)引用2浏览0引用20基于SEM图像的自动对焦技术 韩邦强,宗明成微纳电子技术(2017)引用1浏览0引用10基于空间分光的纳米级调焦调平测量技术孙裕文,李世光,宗明成光学学报(2016)引用2浏览0引用20纳米光刻中调焦调平测量系统的工艺相关性孙裕文,李世光,叶甜春,宗明成光学学报(2016)引用5浏览0引用50图象处理在脉冲加热红外热成像定量检测中的应用汤慧君,丁铁英,薛书文,宗明成JOURNAL OF NORTHERN JIAOTONG UNIVERSITYno. 2 (1999): 9-11引用0浏览0引用00脉冲加热红外热成像无损检测的模拟研究汤慧君,丁铁英,宗明成激光与红外(1999)引用0浏览0引用00加载更多作者统计合作学者合作机构D-Core合作者学生导师暂无相似学者,你可以通过学者研究领域进行搜索筛选数据免责声明页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果,我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问,可以通过电子邮件方式联系我们:report@aminer.cn