基本信息
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个人简介
研究成果概况
长期从事微机电系统(MEMS)研究工作,在惯性器件、声矢量传感器、微纳加工技术等方面取得了比较重要的研究成果。主持和参加了重点研发计划课题、自然科学基金、实验室基金等多项国家级、省部级研究项目。以第一作者和合作作者在国际著名学术期刊、国内核心学术期刊、国内外重要学术会议等上发表研究论文100 余篇,授权中国发明专利20项。
长期从事微机电系统(MEMS)研究工作,在惯性器件、声矢量传感器、微纳加工技术等方面取得了比较重要的研究成果。主持和参加了重点研发计划课题、自然科学基金、实验室基金等多项国家级、省部级研究项目。以第一作者和合作作者在国际著名学术期刊、国内核心学术期刊、国内外重要学术会议等上发表研究论文100 余篇,授权中国发明专利20项。
研究兴趣
论文共 153 篇作者统计合作学者相似作者
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时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
NEMSpp.128-131, (2023)
2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)pp.2113-2116, (2023)
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Wangnan Chen,Zhezheng Zhu, Xu Ma,Lingmeng Yang, Lihao Ma, Wenhua Xu,Chengchen Gao,Yilong Hao,Zhenchuan Yang
2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)pp.1644-1647, (2023)
引用0浏览0EIWOS引用
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Shaoxiao Nie, Xu Ma,Fanrui Meng, Cong Zhou,Jie Wang,Yunfei Liu, Wenhua Xu,Zhenchuan Yang,Yilong Hao,Chengchen Gao
2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)pp.1511-1513, (2023)
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Sensors (Basel, Switzerland)no. 12 (2023): 5709-5709
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERINGno. 8 (2023): 085001-085001
2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)pp.756-759, (2023)
2021 21ST INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)pp.1255-1258, (2021)
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