基本信息
浏览量:150
职业迁徙
个人简介
长期从事低气压射频等离子体的实验诊断与计算机模拟研究工作。在实验方面,自主搭建了多套射频等离子体源以及研制出多种诊断设备,并申请(授权)国内(外)发明专利9项;在计算机模拟方面,参与开发了中国第一款具有自主知识产权的多物理场耦合等离子体源仿真软件“MAPS”,填补了我国相关研究领域的空白。在此基础上,针对射频等离子体的一些前沿基础物理问题开展研究,在SCI 收录的国际学术期刊上发表论文近50 篇,其中第一/通讯作者论文20 篇(包括3篇Phys. Rev. Lett.、7篇Plasma Sources Sci. & Technol.、1篇Appl. Phys. Lett.),并取得了一些创新性的研究成果,如实验上首次观察到容性放电中的“电子反弹共振加热”现象、“辉光条纹”现象,以及“非线性驻波效应”等,以第一/通讯作者的身份,3项研究成果均发表在物理学顶级期刊Phys. Rev. Lett.上。这些研究成果不仅推动了国际上射频等离子体物理过程的研究,而且为实际半导体芯片制造工业中等离子体工艺过程的优化提供了科学参考。
研究兴趣
论文共 90 篇作者统计合作学者相似作者
按年份排序按引用量排序主题筛选期刊级别筛选合作者筛选合作机构筛选
时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
Journal of Applied Physicsno. 4 (2022): 043302-043302
PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGYno. 12 (2021)
加载更多
作者统计
合作学者
合作机构
D-Core
- 合作者
- 学生
- 导师
数据免责声明
页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果,我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问,可以通过电子邮件方式联系我们:report@aminer.cn