基本信息
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职业迁徙
个人简介
步扬,男,研究员,2004年毕业于中国科学院上海光学精密机械研究所,获光学工程博士学位。1999年进入中科院上海光机所工作,主要开展高端光刻机检测技术、光学精密检测技术、光谱与成像技术等领域研究工作。
作为项目(课题)负责人先后主持并完成国家科技重大专项、上海市启明星计划等多项国家、中科院、上海市科研任务。研发了宽光谱大数值孔径显微物镜、高端光刻机用多参数检测装置等精密检测用关键器件和装置。在国内外物理和光学领域SCI/EI期刊发表论文48篇,申请国家发明专利35项,其中授权专利23项。2016年获得中国电子学会科学技术奖二等奖(排名第六)。
作为项目(课题)负责人先后主持并完成国家科技重大专项、上海市启明星计划等多项国家、中科院、上海市科研任务。研发了宽光谱大数值孔径显微物镜、高端光刻机用多参数检测装置等精密检测用关键器件和装置。在国内外物理和光学领域SCI/EI期刊发表论文48篇,申请国家发明专利35项,其中授权专利23项。2016年获得中国电子学会科学技术奖二等奖(排名第六)。
研究兴趣
论文共 97 篇作者统计合作学者相似作者
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ACTA OPTICA SINICAno. 13 (2023)
JOURNAL OF ANALYTICAL ATOMIC SPECTROMETRYno. 1 (2023): 121-130
JOURNAL OF ANALYTICAL ATOMIC SPECTROMETRYno. 7 (2023): 1469-1477
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Chinese Journal of Lasersno. 17 (2022)
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冯鹏 Feng Peng,李中梁 Li Zhongliang, 王向朝 Wang Xiangzhao,步扬 Bu Yang,卢云君 Lu Yunjun,郭福东 Guo Fudong,李思坤 Li Sikun
Chinese Journal of Lasersno. 21 (2022): 2104001-2104001
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