主要从事半导体硅材料及器件的研究，承担/主持国家科技支撑计划重点项目课题、国家重点研发计划课题、国家自然科学基金等项目10多项，作为主要骨干参与了国家重大专项、国家自然科学创新群体等项目。作为主要完成人之一获国家技术发明二等奖1项、国家自然科学二等奖1项、省科学技术一等奖4项、省科学技术二等奖1项。作为责任编委参与编辑了电子工业出版社的《集成电路产业全书》和《集成电路工业丛书》。在Advanced Materials、ACS Energy Letters等国际期刊上发表SCI论文200多篇；获国家授权发明专利30多项，多项成果实现了产业化应用。