基本信息
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职业迁徙
个人简介
【研究领域】
从事精密几何量测量、光谱分析和精密运动控制方面的研究,包括光栅干涉测距关键技术研究、全息干涉光刻法光栅加工、平场凹面光栅光谱分析、微小型运动系统开发等。针对高端制造装备精密定位技术的需求,先后研发了六自由度光栅尺和绝对式光栅尺等新型高精度光栅干涉测距系统。针对光栅干涉测距关键元件纳米计量光栅的加工问题,研究了激光相干长度对光栅面积的影响,提出了基于紧凑型半导体激光器的光栅拼接加工技术,降低加工成本的同时,减小了加工系统的占地空间,提出了“三光束-单次曝光”和偏振调制相结合的加工方案,大幅提升了二维光栅加工质量和效率。对环境监测、物质组分分析等领域所广泛需求的光谱分析仪器的小型化需求,研究了基于凹面光栅的光谱仪技术,提出了基于光路补偿的大曲率凹面光栅加工新原理,提出了双狭缝和反射镜两种新型结构,在满足光谱仪小型化的前提下,拓展了可分析光谱的范围,提高了分辨率。
近五年共发表SCI/EI学术论文30篇,其中SCI收录17篇,SCI论文他引30次,EI收录25篇。SCI收录论文中,第一作者、通讯作者14篇,其中JCR一区5篇,JCR二区以上11篇;已授权专利7项;主持中国博士后科学基金面上和特别资助各1项,深圳市基础研究1项,作为核心人员参与了国家自然科学基金重大科研仪器研制项目、深圳市技术攻关、学科布局、产学研合作等共计8项,累计到账经费400余万元。参加领域内国际学术会议口头报告6次。
从事精密几何量测量、光谱分析和精密运动控制方面的研究,包括光栅干涉测距关键技术研究、全息干涉光刻法光栅加工、平场凹面光栅光谱分析、微小型运动系统开发等。针对高端制造装备精密定位技术的需求,先后研发了六自由度光栅尺和绝对式光栅尺等新型高精度光栅干涉测距系统。针对光栅干涉测距关键元件纳米计量光栅的加工问题,研究了激光相干长度对光栅面积的影响,提出了基于紧凑型半导体激光器的光栅拼接加工技术,降低加工成本的同时,减小了加工系统的占地空间,提出了“三光束-单次曝光”和偏振调制相结合的加工方案,大幅提升了二维光栅加工质量和效率。对环境监测、物质组分分析等领域所广泛需求的光谱分析仪器的小型化需求,研究了基于凹面光栅的光谱仪技术,提出了基于光路补偿的大曲率凹面光栅加工新原理,提出了双狭缝和反射镜两种新型结构,在满足光谱仪小型化的前提下,拓展了可分析光谱的范围,提高了分辨率。
近五年共发表SCI/EI学术论文30篇,其中SCI收录17篇,SCI论文他引30次,EI收录25篇。SCI收录论文中,第一作者、通讯作者14篇,其中JCR一区5篇,JCR二区以上11篇;已授权专利7项;主持中国博士后科学基金面上和特别资助各1项,深圳市基础研究1项,作为核心人员参与了国家自然科学基金重大科研仪器研制项目、深圳市技术攻关、学科布局、产学研合作等共计8项,累计到账经费400余万元。参加领域内国际学术会议口头报告6次。
研究兴趣
论文共 161 篇作者统计合作学者相似作者
按年份排序按引用量排序主题筛选期刊级别筛选合作者筛选合作机构筛选
时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
CoRR (2024)
引用0浏览0EI引用
0
0
crossref(2024)
PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY (2024): 241-246
INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURINGno. 1 (2024): 199-223
CVPR 2024 (2024)
引用0浏览0引用
0
0
crossref(2024)
arxiv(2024)
引用0浏览0引用
0
0
Sensors (Basel, Switzerland)no. 6 (2024): 1755
Nanomanufacturing and Metrologyno. 1 (2024): 1-13
IEEE TRANSACTIONS ON INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT (2024): 1-13
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作者统计
合作学者
合作机构
D-Core
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- 导师
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