基本信息
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个人简介
研究方向:
先进的纳米光刻技术研究(包括深紫外激光直写、电子束光刻、X射线光刻、193nm光学光刻等); 纳米尺度深紫外、X射线衍射光学元件的设计、制造、检测及应用研究,近年来主持研究成功十多种5000线/mm、10000线/mm衍射光学元件并获得成功应用。
承担科研项目情况:
承担过包括“863”、“973”、国家科技攻关在内的10多项科研项目,曾为国内50多家科研单位、公司提供过微纳加工技术服务。
正在进行的研究项目:
1、纳米尺度X射线光学元件设计、制作及应用,2007-2012,973项目子课题;
2、低应力自支撑SiC薄膜生长的10000C高真空等离子体沉积设备,2007-2009,中国科学院重大科研装备研制项目
先进的纳米光刻技术研究(包括深紫外激光直写、电子束光刻、X射线光刻、193nm光学光刻等); 纳米尺度深紫外、X射线衍射光学元件的设计、制造、检测及应用研究,近年来主持研究成功十多种5000线/mm、10000线/mm衍射光学元件并获得成功应用。
承担科研项目情况:
承担过包括“863”、“973”、国家科技攻关在内的10多项科研项目,曾为国内50多家科研单位、公司提供过微纳加工技术服务。
正在进行的研究项目:
1、纳米尺度X射线光学元件设计、制作及应用,2007-2012,973项目子课题;
2、低应力自支撑SiC薄膜生长的10000C高真空等离子体沉积设备,2007-2009,中国科学院重大科研装备研制项目
研究兴趣
论文共 261 篇作者统计合作学者相似作者
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时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
crossref(2024)
Optics & Laser Technology (2024): 111103
IEEE Magnetics Lettersno. 99 (2024): 1-5
OPTICS LETTERSno. 24 (2023): 6480-6483
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICESno. 8 (2023): 4150-4156
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合作学者
合作机构
D-Core
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