从事MEMS、传感器与执行器及集成电路领域研究，包括： 1.MEMS CAD技术：MEMS微结构模拟仿真与优化设计，包括力、流体、温度和电磁场等分析； 2.传感器ASIC接口电路集成技术：通过集成电路芯片设计及加工实现传感器与电路的集成化，包括模拟电路和数模混合电路芯片设计； 3.MEMS多功能传感器技术：包括压力-温度、声-振动和自检测压力等传感器； 4.MEMS微驱动和微执行器技术：包括PZT压电厚膜驱动和微阀、微泵等； 5.MEMS SOC技术研究：包括微流体测控系统和微生化分析系统等； 6.生物芯片技术。