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论文共 12 篇作者统计合作学者相似作者
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Lianghong Yin,John L. Sturtevant, Alberto Lopez Gomez,Shumay Shang,Young-Chang Kim, Kostas Adam, Marko Chew,Abhinandan Nath,Boris Habets, Manuela Gutsch,Philip Groeger
METROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL FOR MICROLITHOGRAPHY XXXIV (2020)
METROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL FOR MICROLITHOGRAPHY XXXIV (2020)
John Sturtevant,Lianghong Yin,Young Chang Kim,Shumay Shang, Andre Burbine,Chris Clifford, Kostas Adam
DESIGN-PROCESS-TECHNOLOGY CO-OPTIMIZATION FOR MANUFACTURABILITY XIII (2019)
Proceedings of SPIE (2018)
PHOTOMASK TECHNOLOGY 2015 (2015)
DESIGN FOR MANUFACTURABILITY THROUGH DESIGN-PROCESS INTEGRATION (2007)
PHOTOMASK TECHNOLOGY 2007, PTS 1-3 (2007)
DESIGN AND PROCESS INTEGRATION FOR MICROELECTRONIC MANUFACTURING IV (2006)
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