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APPLIED THERMAL ENGINEERING (2024): 122011
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY Ano. 2 (2024)
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY Ano. 2 (2024)
2024 Conference of Science and Technology for Integrated Circuits (CSTIC)pp.1-3, (2024)
JOURNAL OF MANUFACTURING PROCESSES (2023): 839-848
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY Ano. 4 (2023)
J. I. E. Yuan, X. I. N. G. Y. U. LI, L. U. L. U. Guan, Z. H. U. A. N. G. Liu, S. H. U. O. Dong, Y. U. X. I. N. Yang, K. A. I. D. O. N. G. Xu,S. H. I. W. E. I. Zhuang
OPTICAL MATERIALS EXPRESSno. 5 (2023): 1249-1258
2022 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC)pp.1-4, (2022)
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