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METHODS FOR ETCHING A DIELECTRIC BARRIER LAYER IN A DUAL DAMASCENE STRUCTURE
He Ren, Chialing Kao,Sean Kang, Jeremiah T P Pender, Srinivas D Nemani,Mehul B Naik
mag（2015）
引用23浏览0引用
23
0
METHODS FOR BARRIER LAYER REMOVAL
Chialing Kao,Sean Kang, Jeremiah T Pender, Srinivas D Nemani,He Ren,Mehul B Naik
mag（2015）
引用23浏览0引用
23
0
METHOD FOR MATERIAL REMOVAL IN DRY ETCH REACTOR
Olivier Luere, Srinivas D Nemani,Sean S Kang
mag（2015）
引用74浏览0引用
74
0
In-situ photoresist strip during plasma etching of active hard mask
Sangjun Cho,Tom Choi, Taejoon Han,Sean Kang, Prabhakara Gopaladasu, Biming Yen
mag（2014）
引用24浏览0引用
24
0
Wafer electrical discharge control using argon free dechucking gas
David Wei, Howard Dang,Masahiro Watanabe,Sean Kang,Kenji Takeshita,Mayumi Block, Stephen Sirard, Eric A Hudson
mag（2011）
引用26浏览0引用
26
0
Wet deposition of precipitation chemistry at Nam Co Station, Central Tibetan Plateau: from 2005 to 2009
Y Q Zhang,Sean Kang, C G Li, Zixiang Cong, Q J Zhang
mag（2010）
引用23浏览0引用
23
0
A 200 year history of mercury pollution across the Tibet-Himalaya reconstructed using lake sediments
Sean Kang,Q J Li, C M Sharma, Q J Zhang, B D Xu, Sanjay Sharma,Jinghua Guo, Karen Wang,Jingfang Huang
mag（2010）
引用22浏览0引用
22
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The Change of Solar Radiation and Its Causes in Lhasa City
Y Q Zhang,Sean Kang
mag（2010）
引用23浏览0引用
23
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