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DRAM MIM Capacitor Using Non-Noble Electrodes
Hanhong Chen, David Chi,Imran Hashim, Mitsuhiro Horikawa,Sandra Malhotra
mag（2015）
引用23浏览0引用
23
0
Leakage reduction in DRAM MIM capacitors
Tony P Chiang, Wim Deweerd,Sandra G Malhotra
mag（2014）
引用27浏览0引用
27
0
Yttrium and Titanium High-K Dielectric Films
Imran Hashim,Hanhong Chen,Tony Chiang, Indranil De,Nobumichi Fuchigami, Edward Haywood,Pragati Kumar,Sandra Malhotra, Sunil Shanker
mag（2014）
引用28浏览0引用
28
0
Methods for Reproducible Flash Layer Deposition
Sandra G Malhotra, Hiroyuki Ode, Xiangxin Rui
mag（2014）
引用23浏览0引用
23
0
High temperature ALD process for metal oxide for DRAM applications
Hanhong Chen, Edward Haywood,Sandra G Malhotra, Hiroyuki Ode
mag（2014）
引用23浏览0引用
23
0
Processing substrates using site-isolated processing
Tony P Chiang, David E Lazovsky,Sandra Malhotra
mag（2014）
引用22浏览0引用
22
0
Nonvolatile Memory Elements
Sandra Malhotra,Pragati Kumar, Sean Barstow,Tony Chiang, Prashant Phatak,Wen Wu, Sunil Shanker
mag（2014）
引用33浏览0引用
33
0
Manufacturable high-k DRAM MIM capacitor structure
Sandra G Malhotra, Wim Deweerd, Hiroyuki Ode
mag（2014）
引用26浏览0引用
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