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Method for treatment of deposition reactor
Suvi Haukka,Eric Shero,Fred Alokozai,Dong Li, Jereld Lee Winkler, Xichong Chen
mag（2016）
引用23浏览0引用
23
0
SULFUR-CONTAINING THIN FILMS
Suvi Haukka,Fu Tang,Michael Givens, J Maes,Qi Xie
mag（2015）
引用23浏览0引用
23
0
METHODS FOR FORMING DOPED SILICON OXIDE THIN FILMS
Noboru Takamure, Atsuki Fukazawa,Hideaki Fukuda, Antti Niskanen,Suvi Haukka, Ryu Nakano, Kunitoshi Namba
mag（2015）
引用26浏览0引用
26
0
DUAL SELECTIVE DEPOSITION
Suvi Haukka,Raija Matero,Eva Tois, Antti Niskanen,Marko Tuominen, Hannu Huotari, Viljami J Pore
mag（2015）
引用23浏览0引用
23
0
Si PRECURSORS FOR DEPOSITION OF SiN AT LOW TEMPERATURES
Antti Niskanen, Shang Chen, Viljami J Pore, Atsuki Fukazawa,Hideaki Fukuda,Suvi Haukka
mag（2014）
引用26浏览0引用
26
0
METHODS FOR FORMING SILICON NITRIDE THIN FILMS
Antti Niskanen,Suvi Haukka, Jaakko Anttila
mag（2014）
引用26浏览0引用
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