S. D. Fedotov - Epiel | 人才画像

基本信息

浏览量：0

职业迁徙

个人简介

暂无内容

研究兴趣

论文共 16 篇作者统计合作学者相似作者

按年份排序按引用量排序主题筛选期刊级别筛选合作者筛选合作机构筛选

УПРАВЛЕНИЕ ПРОГИБОМ СТРУКТУР КРЕМНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ ХЛОРИДНЫХ ГАЗОТРАНСПОРТНЫХ РЕАКЦИЙ

Д.В. Тарасов, Ю.Н. Баранов,С.Д. Федотов, Е.М. Соколов,В.Н. Стаценко, С.А. Гаврилов

Nanoindustry Russiano. 8s (2022): 118-123

引用0浏览0引用

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЙ ОБРАЗЕЦ УСТАНОВКИ ГАЗОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИИ ИЗ МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ "ЭПИФАЗ ТМ 200-01" ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК ДИАМЕТРОМ ДО 200 ММ

М.Г. Бирюков, В.В. Одиноков, П.Е. Афонин, А.В. Шубников, В.В. Панин, В.М. Устинов, А.Ф. Цуцульников, В.В. Лундин, Е.Е. Заварин, В.Н. Стаценко,С.Д. Федотов, Р.А. Талалаев,

Nanoindustry Russiano. 7s (2021): 575-576

引用0浏览0引用

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СВЕРХВЫСОКООМНЫХ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР КРЕМНИЯ ДИАМЕТРОМ ДО 150 ММ ДЛЯ РОСТА GA(AL)N-СОЕДИНЕНИЙ МЕТОДОМ МОГФЭ

С.Д. Федотов, В.В. Лундин,Е.Е. Заварин,А.В. Сахаров, А.Ф. Цацульников, Е.М. Соколов, В.Н. Стаценко, В.И. Егоркин, В.Е. Земляков, А.А. Зайцев, О.Б. Чуканова

Nanoindustry Russiano. 7s (2021): 197-200

引用0浏览0引用

Investigation of the Initial Silicon-on-Sapphire Layer Formed by CVD Techniques